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1，mems是什么

微机电系统的英文名字。

mems是什么

2，MEMS是什么意思

微机电系统(MEMS) 谢谢采纳

MEMS是什么意思

3，什么是MEMS技术

MEMS(微电子机械系统或称微机电系统)技术。看名字应该能知道是做什么的了吧。具体内容十分丰富且复杂，说不清楚

什么是MEMS技术

4，小弟读研想去微机械MEMS这个专业但最近听说这个专业都是

朋友你好，这个专业叫微纳制造或者精微制造，MEMS是微机电系统的意思。这个专业不像你说的是搞理论的，其实应该算做是搞工艺的。真正要理论分析的东西不会要硕士生来做这个方向偏工艺，偏实验，你深入其中，也会你会很喜欢的我支持你选择这个专业方向出来很好就业的，尤其是各大研究所：中国电子科技集团一大批研究所，中科院也有很多研究所，微电子所，半导体所……太多了，你自己可以了解一下。另外，华为中兴之类的做硬件研发的话，也招微纳专业方向的学生。相信我，不会错的。

5，MEMS加工工艺 介绍

MEMS----Micro-Electro-Mechanical Systems(美国)微机电系统，也称为微机械（日本）或微系统（欧洲）。它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。 MEMS概述 特点 微型化：体积小、重量轻、耗能低、惯性小 以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传 导率接近钼和钨 批量生产：降低生产成本 集成化 多学科交叉：涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科
光刻 腐蚀 薄膜 扩散 外延 键合 等等等等 这是很深的一门学问，足够研究一辈子

6，由MEMS技术研发的产品及详解

我认为 MEMS压力传感器的结构与工作原理及应用技术 　　MEMS是指集微型压力传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。 MEMS压力传感器可以用类似集成电路（IC）设计技术和制造工艺，进行高精度、低成本的大批量生产，从而为消费电子和工业过程控制产品用低廉的成本大量使用MEMS传感器打开方便之门，使压力控制变得简单易用和智能化。　　MEMS压力传感器原理：　　目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的，具有较高的测量精度、较低的功耗，极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器，如无压力变化，其输出为零，几乎不耗电。　　MEMS硅压阻式压力传感器采用周边固定的圆形的应力杯硅薄膜内壁，采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力最大处，组成惠斯顿测量电桥，作为力电变换测量电路，将压力这个物理量直接变换成电量，其测量精度能达0.01%～0.03%FS。硅压阻式压力传感器结构如图3所示，上下二层是玻璃体，中间是硅片，硅片中部做成一应力杯，其应力硅薄膜上部有一真空腔，使之成为一个典型的绝压压力传感器。应力硅薄膜与真空腔接触这一面经光刻生成如图2的电阻应变片电桥电路。当外面的压力经引压腔进入传感器应力杯中，应力硅薄膜会因受外力作用而微微向上鼓起，发生弹性变形，四个电阻应变片因此而发生电阻变化，破坏原先的惠斯顿电桥电路平衡，电桥输出与压力成正比的电压信号。　　传统的机械量压力传感器是基于金属弹性体受力变形，由机械量弹性变形到电量转换输出，因此它不可能如MEMS压力传感器那样做得像IC那么微小，成本也远远高于MEMS压力传感器。相对于传统的机械量传感器，MEMS压力传感器的尺寸更小，最大的不超过1cm，使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。　

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