PZT，PZT陶瓷具有哪两种物理效应

本文目录一览

1，PZT陶瓷具有哪两种物理效应
2，pzt材料在声发射传感器中的优势
3，什么是PZT4材料
4，PZT薄膜为什么不能用直流溅射
5，pzt压电陶瓷是直流器件还是交流器件
6，谁能提供下关于PZT材料结构和制备原理方面的东西

1，PZT陶瓷具有哪两种物理效应

PZT薄膜具有明显的正压电效应和负压电效应当它用于传感器的制作时，具有高的灵敏度和低电噪声；用于驱动器的制作时具有很高的响应速度和较大的输出应力。所以它被广泛应用于电子、光学、微机械、各种压电功能器件和微电子机械系统（MEMS）等领域，例如用于悬臂梁驱动器、原子力显微镜、超声微马达等方面

压电陶瓷是一种能够将机械能和电能互相转换的信息功能陶瓷材料-压电效应,压电陶瓷除具有压电性外, 还具有介电性、弹性等, 已被广泛应用于医学成像、声传感器、声换能器、超声马达等。压电陶瓷利用其材料在机械应力作用下，引起内部正负电荷中心相对位移而发生极化，导致材料两端表面出现符号相反的束缚电荷即压电效应而制作，具有敏感的特性

PZT陶瓷具有哪两种物理效应

2，pzt材料在声发射传感器中的优势

飞秒检测发现PZT 是压电蜂鸣片的简称，由压电陶瓷制成，对其施加振荡电压时，会发出响亮的声音，可用于电子手表、计算器、玩具、门铃等。PZT是PbZrO3和PbTiO3的固溶体，具有钙钛矿型结构。PbTiO3和PbZrO3是铁电体和反铁电体的典型代表，因为Zr和Ti属于同一副族，PbTiO3和PbZrO3具有相似的空间点阵形式，但两者的宏观特性却有很大的差异，钛酸铅为铁电体，其居里温度为492℃，而锆酸铅却是反铁电体，居里温度为232℃。研究PbTiO3和PbZrO3的固溶体后发现PZT具有比其它铁电体更优良的压电和介电性能，PZT以及掺杂的PZT系列铁电陶瓷成为近些年研究的焦点。PZT作为一种性能优异的铁电材料，具有良好的介电、铁电、压电、热释电等效应，早已应用于非挥发性动态随机存储器的制作，在电子材料中具有重要地位。近年来，随着微机电系统的迅速发展，PZT铁电薄膜因为具有高压电常数和高机电耦合系数等优点而受到了大家的普遍重视，被广泛应用于微型传感器与微型驱动器，如：微镜、微压电悬臂梁、微马达、微加速度计等的制作，已成为微机电系统中应用最为广泛的传感和驱动材料之一。

pzt材料在声发射传感器中的优势

3，什么是PZT4材料

PZT-4是用钙、锶或钡置换部分的铅，用锡置换锆而做出的一种材料，居里点降低，电容率增大。 PZT是锆钛酸铅压电陶瓷的简称，它是钛酸铅和锆酸铅固溶体为基的组成物，其居里点在300-400摄氏度之间，在较大的温度范围内比较稳定，作为换能器材料，其压电效应显著。PZT是PbZrO3和PbTiO3的固溶体，具有钙钛矿型结构。PbTiO3和PbZrO3是铁电体和反铁电体的典型代表，因为Zr和Ti属于同一副族，PbTiO3和PbZrO3具有相似的空间点阵形式，但两者的宏观特性却有很大的差异，钛酸铅为铁电体，其居里温度为492℃，而锆酸铅却是反铁电体，居里温度为232℃，如此大的差异引起了人们的广泛关注。研究PbTiO3和PbZrO3的固溶体后发现PZT具有比其它铁电体更优良的压电和介电性能，PZT以及掺杂的PZT系列铁电陶瓷成为近些年研究的焦点。

锆钛酸铅

PZT是锆钛酸铅压电陶瓷的简称，它是钛酸铅和锆酸铅固溶体为基的组成物，其居里点在300-400摄氏度之间，在较大的温度范围内比较稳定，作为换能器材料，其压电效应显著。PZT-4是用钙、锶或钡置换部分的铅，用锡置换锆而做出的一种材料，居里点降低，电容率增大。

什么是PZT4材料

4，PZT薄膜为什么不能用直流溅射

因为PZT本身不导电,所以必须使用RF溅射.PZT压电陶瓷(锆钛酸铅)是将二氧化铅、锆酸铅、钛酸铅在1200度高温下烧结而成的多晶体。 P是铅元素Pb的缩写，Z是锆元素Zr的缩写，T是钛元素Ti的缩写锆钛酸铅陶瓷通常简称为PZT陶瓷，这种压电陶瓷目前被广泛应用。它是PbZrO3和PbTiO3的固溶体，具有钙钛矿型结构。PbTiO3和PbZrO3是铁电体和反铁电体的典型代表，因为Zr和Ti属于同一副族，PbTiO3和PbZrO3具有相似的空间点阵形式，但两者的宏观特性却有很大的差异，钛酸铅为铁电体，其居里温度为492℃，而锆酸铅却是反铁电体，居里温度为232℃，如此大的差异引起了人们的广泛关注。研究PbTiO3和PbZrO3的固溶体后发现PZT具有比其它铁电体更优良的压电和介电性能，PZT以及掺杂的PZT系列铁电陶瓷成为近些年研究的焦点

镀膜气压在直流磁控溅射最好的为0.3-0.5pa之间，这时候电子的寿命和溅射速率达到最佳。这里说的镀膜气压是指的氩气的流量在真空镀膜时的效果。所以氩气流量可以知道了。至于氮气流量就要看你要的是什么样的膜层，如果是纯净的氮化物，那就在调节电压的过程中，电压达到一个值后迅速下降之前，此时的氮气流量最大，这时候的溅射速率最大，产生的膜层也就快。。

5，pzt压电陶瓷是直流器件还是交流器件

压电常数(piezoelectric constant)是压电体把机械能转变为电能或把电能转变为机械能的转换系数。它反映压电材料弹性（机械）性能与介电性能之间的耦合关系。选择不同的自变量（或者说测量时选用不同的边界条件），可以得到四组压电常数d、g、e、h，其中较常用的是压电常数d。其中压电常数d33是表征压电材料性能的最常用的重要参数之一，一般陶瓷的压电常数越高，压电性能越好。下标中的第一个数字指的是电场方向，第二个数字指的是应力或应变的方向，“33”表示极化方向与测量时的施力方向相同。当沿极化方向（z轴）施加压应力t3时，在电极面a3上产生的电荷密度σ3 ＝ d33t3。在mksq制中，电位移d3 ＝σ3，则 d3 ＝ d33t3 同理，沿x轴和y轴分别施加机械应力t1和t2，在电极面a3上所产生的电位移为：d3 ＝ d31t1，d3 ＝ d32t2。若晶体同时受到t1，t2和t3的作用，电位移和应力关系为： d3 ＝ d31t1＋d32t2＋d33t3 对于用来产生运动式振动的材料来说，希望具有大的压电常数d。希望对你有用~~

6，谁能提供下关于PZT材料结构和制备原理方面的东西

PZT第一性原理计算及其铁电性能研究【摘要】：与传统的EEPROM和FLASH挥发性存储器相比,非挥发性铁电存储器(FeRAM)具有抗辐射、低功耗、快速读写操作、低操作电压等优异特性,从而更适合嵌入式应用的要求。本论文对应用于铁电随机存储器的关键组成部分——PZT铁电薄膜进行了第一性原理计算以及对PZT薄膜电容制备工艺和性能上进行了研究。采用第一性原理的方法计算了PTO顺电相和铁电相,不同Zr/Ti比的PZT铁电相,和PZO顺电相、铁电相和反铁电相的电子结构。第一性原理对PTO、PZT与PZO不同相总能量的计算结果表明,在低温PTO、PZT处于铁电相,PZO处于反铁电相是由能量最小原理决定。PTO、PZT和PZO电子结构的计算结果表明,B位Ti3d,Zr4d与O2p电子存在强烈的杂化,并且Ti与O的杂化强度大于Zr与O的杂化强度,铁电相杂化强度大于顺电相杂化强度;A位Pb6s与O2p同样存在较强的杂化,这种杂化在铁电相时表现最强烈。从PZT能带的组成来看,在价带以下部分,主要由Pb原子电子能级组成;在价带底部主要由Ti,Zr原子与O原子的杂化能级组成,价带顶主要由O原子能级组成;在导带底主要由Ti与O的杂化能级组成。随着Ti原子比例增大,铁电相PZT中B位与O的杂化强度增大,说明铁电性增强,但是能隙变小,漏电流将变大。根据PZT铁电材料的自身特性、工艺制备和理论计算结果,确定了掺Ta1%的PZT(PbZr0.3Ti0.69Ta0.01O3,PTZT)是较为理想的嵌入式铁电存储器用材料。使用固相反应法制备了LSMO靶材、PbO靶材和Pb过量20%的纯钙钛矿结构的PTZT靶材。通过对TiO2,PbO和LSMO不同缓冲层制备的PTZT铁电薄膜结构、铁电性能和疲劳特性的分析指出,在高温溅射LSMO作为缓冲层的PTZT铁电薄膜是能够满足铁电随机存储器要求的。Pt/LSMO/PTZT/LSMO/Pt/TiO2 /SiO2/Si是一种优化的,适用于铁电存储器的铁电薄膜结构。从不同LSMO缓冲层厚度的PTZT铁电薄膜的性能分析指出LSMO缓冲层厚度在约20nm左右时,薄膜的铁电性能和疲劳特性最好。通过对PTZT层的溅射气压、基片温度、后期退火工艺和溅射氧偏压对LSMO/PTZT/LSMO三明治薄膜结构铁电性能的分析指出,较优的制备PTZT薄膜电容的工艺条件是:溅射工作气压1.5Pa,基片温度200oC,溅射气氛为纯Ar气,退火温度为650度,退火时间为20分钟。在Pt衬底上成功地制备了直径为75mm的LSMO/PTZT/LSMO铁电薄膜,测试了薄膜的表面和截面形貌以及薄膜铁电性能和介电常数。研究结果表明,薄膜表面致密、平整,厚度均匀(偏差在3.5%以内);最大电压12V测量的剩余极化平均值约为52.6μC/cm2,矫顽场平均值为2V(偏差在3.5%以内),经109开关极化后,名义剩余极化强度平均值约为初始极化的90%(偏差在2.8%);薄膜的介电常数随频率的增加而减小,但1MHz后下降的趋势变得缓慢。基于极化反转物理行为建立了关于铁电电容极化与外加电场的唯象物理模型。在此模型中,通过一些合理的近似假设,推得一微分方程,这一方程不但能很好地描述饱和与非饱和电滞回线以及回线间的转换,并能准确模拟各种条件下的极化情况。用此模型对实验数据和已报告的文献上的实验数据进行了模拟,结果具有很好的一致性。说明该模型对饱和电滞回线,以及非饱和、输入电压中途转向的电滞回线都能进行很好的仿真。不好意思，这不算回答，但希望对你有用

文章TAG：陶瓷具有两种物理 PZT