自动化设备主要用什么元件?自动设备和等离子体表面处理设备的等离子体中含有哪些基本粒子?等离子体设备产生的等离子体处于弱电离状态,所以在低温等离子体放电过程中,通常会产生六种基本粒子:光子、电子、基态原子(或分子)、激发态原子(或分子)、正离子和负离子。
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